538.9
С 79
 .
Формування нанорозмірних плівок Ті-О-N та Cr-O-N іонно-променевими методами [Текст] : автореф. дис. на здобуття наук. ступеня канд. техн. наук : за спец. 01.04.07 Фізика твердого тіла : захищена 25.10.2010 / А. М. Стєрвоєдов ; наук. керівник В. М. Береснєв ; Ін-т електрофізики і радіац. технологій . - Харків : [б. в.], . - 20 с. - Бібліогр.: с. 15-17

УДК
538.9
544.725
543.428.4

Ключові слова: нанорозмірні плівки -- ті-о-n -- cr-o-n -- іонно-променеве розпилення -- іонно-стимульоване осадження -- система синхронізації -- система управління -- рентгенівська спектроскопія -- фотоелектронна спектроскопія -- наноразмерные пленки -- ионно-лучевое распыление -- ионно-стимулируемое осаждение -- система синхронизации -- система управления -- рентгеновская спектроскопия -- фотоэлектронная спектроскопия -- nanoscale films -- ion heam sputtering -- ion heam assisted deposition -- synchronization systems -- control systems -- x-ray photoelectron spectroscopy --
Додаткові точки доступу: