538.9
П 29
 .
Структура, кінетика зростання та властивості плівок боридів та боронітридів ванадію і танталу [Текст] : автореф. дис. на здобуття наук. ступеня канд. фіз.-мат. наук : за спец. 01.04.07 Фізика твердого тіла : захищена 17.03.2008 / В. В. Петухов ; наук. керівник О. А. Гончаров ; Ін-т електрофізики і радіац. технологій. - Харків : [б. в.], . - 20 с. - Бібліогр.: с. 15-17. - Б. ц.

УДК
538.9
546.271
621.793.7

Ключові слова: плівка -- борид танталу -- борид ванадію -- іонно-плазмове розпилення -- пленка -- борид тантала -- борид ванадия -- ионно-плазменное распыление -- films -- tantalum boride -- vanadium boride -- ion-plasma sputtering --
Додаткові точки доступу: