669.15-194.57
К 56
 .
Підвищення експлуатаційних властивостей тонкоплівкових покриттів термічною обробкою та іонною імплантацією [Текст] : дис. на здобуття наук. ступеня канд. техн. наук : за спец. 05.02.01 Матеріалознавство : захищена 05.06.2019 / О. В. Коваленко ; наук. керівник Т. С. Скобло ; Харків. нац. техн. ун-т сіл. госп-ва ім. П. Василенка. - Харків : [б. в.], . - 188 с. - Бібліогр.: с. 5-9, 165-182

Додатки: с. 183-188
УДК
669.15-194.57
669-172

Ключові слова: тонкі плівки -- елементний склад -- фазовий склад -- дифузія -- термообробка -- імплантація -- фізичні властивості -- магнітооптичні властивості -- експлуатаційні властивості -- тонкие пленки -- элементный состав -- фазовый состав -- диффузия -- термообработка -- имплантация -- физические свойства -- магнитооптические свойства -- эксплуатационные свойства -- thin films -- element composition -- phase composition -- diffusion -- heat treatment -- implantation -- physical properties -- magneto-optical properties -- operational properties --
Додаткові точки доступу: