539.231
П 27
 .
Селективні процеси при знижених коефіцієнтах конденсації [Текст] : автореф. дис. на здобуття наук. ступеня д-ра техн. наук : за спец. 01.04.07 Фізика твердого тіла : захищена 29.05.2006 / В. І. Перекрестов ; наук. конс. О. І. Олємской ; Ін-т електрофізики і радіац. технологій . - Харків : [б. в.], . - 34 с. - Бібліогр.: с. 27-30

УДК
539.231

Ключові слова: структурна селективність -- фазова селективність -- коефіцієнт конденсації -- магнетронне розпилення -- метали -- вуглець -- карбід титану -- епітаксія -- наноструктура -- електронна мікроскопія -- структурная селективность -- фазовая селективность -- коэффициент конденсации -- магнетронное распыление -- металлы -- углерод -- карбид титана -- эпитаксия -- наноструктура -- электронная микроскопия -- structural selectivity -- phase selectivity -- nonequilibrium condensation -- magnetron sputtering -- metals -- carbon -- titanium carbide -- epitaxy -- nanostructure -- electron microscopy --
Додаткові точки доступу: