538.9
Г 16
 .
Аналіз, синтез та діагностика складних радіаційно-індукованих та багатошарових систем на поверхні твердих тіл [Текст] : автореф. дис. на здобуття наук. ступеня д-р фіз.-матем. наук : за спец. 01.04.07 Фізика твердого тіла : захищена 28.12.2009 / О. А. Галуза ; наук. конс. А. І. Беляєва ; Ін-т електрофізики і радіац. технологій . - Харків : [б. в.], . - 32 с. - Бібліогр.: с. 26-30

УДК
538.9
537.5

Ключові слова: структура поверхні -- еліпсометрія -- рефлектометрія -- інтерферометрія -- іонне бомбардування -- багатошарові системи -- структура поверхности -- эллипсометрия -- рефлектометрия -- интерферометрия -- ионная бомбардировка -- многослойные системы -- surface structure -- ellipsometry -- reflectometry -- interferometry -- ion bombardment -- multilayer systems --
Додаткові точки доступу: