658.51
Робастная оптимизация производственного процесса [Текст] / Ю. В. Брагин //
Методы менеджмента качества : науч.-техн. журн. - . - N 3. - С. 35-41. - Библиогр.: с. 41. - ISSN 0130-6898.
(Шифр в БД М333960/2007/3)
УДК
658.51

Анотація:
Рассмотрен пример применения двухэтапного алгоритма робостной оптимизации по Тагути в отношении технологического процесса формирования контактных окон интегральных микросхем. В качестве критериев оптимизации использованы отношение сигнала к шуму и чувствительность. Представлены результаты, полученные в ходе исследования.