681.5
Разработка автоматизированной системы управления вакуумным технологическим оборудованием линейного типа / А. Супрунюк //
СТА. - . - N 3. - С. 68-72. - ISSN 0206-975X.
(Шифр в БД С034008/2012/3)
УДК
681.5

Ключові слова: буферная камера -- буферна камера -- транспортный затвор -- транспортний затвор -- упрощение управления -- спрощення управління --
Анотація:
Описана разработка автоматизированной системы управления вакуумным технологическим оборудованием линейного типа. Рассказано об особенностях реализуемого этим оборудованием технологического процесса и об особых требованиях со стороны заказчика, показано, как все это отразилось на архитектуре системы управления, операторском интерфейсе, выборе аппаратно-программных средств.
Описана розробка автоматизованої системи управління вакуумним технологічним обладнанням лінійного типу. Розказано про особливості реалізованого цим обладнанням технологічного процесу і про особливі вимоги з боку замовника, показано, як все це відбилося на архітектурі системи управління, операторському інтерфейсі, виборі апаратно-програмних засобів.