Моделювання впливу коливань температури і концентрації на процес електронно-променевого рафінування кремнію [Текст] / В. О. Панібрацький [и др.] //
Вібрації в техніці та технологіях : наук.-техн. журн. . - . - N 2. - С. 115-123. - Бібліогр. наприкінці ст. - ISSN 5-7763-91.
(Шифр в БД В927452/2013/2)
Анотація:
Смоделировано и проведено исследование процесса рафинирования кремния электронно-лучевым пучком.
Змодельоване і проведено дослідження процесу рафінування кремнію електронно-променевим пучком.
Додаткові точки доступу: