
>
Моделювання впливу коливань температури і концентрації на процес електронно-променевого рафінування кремнію [Текст] / В. О. Панібрацький [и др.] //
Вібрації в техніці та технологіях : наук.-техн. журн. . - 2013. - N 2. - С. 115-123. - Бібліогр. наприкінці ст. - ISSN 5-7763-91.
(Шифр в БД В927452/2013/2)
Анотація:
Смоделировано и проведено исследование процесса рафинирования кремния электронно-лучевым пучком.
Змодельоване і проведено дослідження процесу рафінування кремнію електронно-променевим пучком.
Додаткові точки доступу:
Панібрацький, В. О.
Солоненко, В. І.
Гель, П. В.
Чикваїдзе, Г.
Андріс, Г.
(Шифр в БД В927452/2013/2)
Анотація:
Смоделировано и проведено исследование процесса рафинирования кремния электронно-лучевым пучком.
Змодельоване і проведено дослідження процесу рафінування кремнію електронно-променевим пучком.
Додаткові точки доступу:
Панібрацький, В. О.
Солоненко, В. І.
Гель, П. В.
Чикваїдзе, Г.
Андріс, Г.
Кількість примірників на окремих абонементах
# | Відділ | Всього примірників | Вільних примірників |
---|
Інвентарні номери примірників на окремих абонементах
# | Відділ | інвентарні номери |
---|
# | Факультет | Спеціальність | Дисципліна | Семестр |
---|
# | Посилання | Кількість завантажень / переходів |
---|