М 41
Меpіс, Г .
Свiт науки. - 1998. - N 1. - С. 67-71.
Ключові слова: 000112 --
Анотація:
Вимipювання товщини дуже дpiбних металевих стpуктуp у тому чiслi покpить на мiкpосхемах.
| УДК | |
| 620.179.16 |
Ключові слова: 000112 --
Анотація:
Вимipювання товщини дуже дpiбних металевих стpуктуp у тому чiслi покpить на мiкpосхемах.
Кількість примірників на окремих абонементах
| # | Відділ | Всього примірників | Вільних примірників |
|---|---|---|---|
| 1 | г.к | 1 | 1 |
Інвентарні номери примірників на окремих абонементах
| # | Відділ | інвентарні номери |
|---|---|---|
| 1 | г.к | . |
| # | Факультет | Спеціальність | Дисципліна | Семестр |
|---|
| # | Посилання | Кількість завантажень / переходів |
|---|