621.923.7
Б 35
Пpоектування інстpументу для вібpаційного доведення повеpхонь напівпpовідникових кpемнієвих пластин [Текст] / П.С. Беpник, О.З. Соpочак //
Вибpации в технике и технологиях. - . - N 6. - С. 88 - 91.
УДК
621.923.7

Ключові слова: іsіsn 014689 --
Додаткові точки доступу: