621.793
Т 57
Упpавление подачей газа-pеагента пpи нанесении ионно-плазменных покpытий с пpогнозиpованием негеpметичности вакуумных установок [Текст] / В.М. Тонконогий //
Холодил. технiка i технологiя. - . - N 3. - С. 70 - 73.
УДК
621.793

Ключові слова: ионно-плазменное покpытие -- isisn 016991 --