621.923.6
Проектування інструменту для выбраційного доведення поверхонь напівпровідникових кремнієвих пластин / П. С. Берник, О. З. Сорочак //
Вібрації в техніці та технологіях : наук.-техн. журн. . - . - N 6. - С. 88-91. - Бібліогр. наприкінці ст. - ISSN 5-7763-91.
(Шифр в БД В927452/2003/6)
УДК
621.923.6

Анотація:
Рассматривается математическая модель формообразования плоских поверхностей деталей при обработке их на вибрационных доводочных станках с круговыми траекториями колебаний притиров. На ее базе разработана конструкция инструмента для плоскопараллельной обработки полупроводниковых кремниевых пластин.
Розглядається математична модель формоутворення плоских поверхонь деталей при обробці їх на вібраційних доводочних верстатах з круговими траєкторіями коливань прітіров. На її базі розроблена конструкція інструменту для плоскопараллельной обробки напівпровідникових кремнієвих пластин.
Додаткові точки доступу: