
>
621.923.6
Берник, П. С.Проектування інструменту для выбраційного доведення поверхонь напівпровідникових кремнієвих пластин / П. С. Берник, О. З. Сорочак //
Берник, П. С.
Вібрації в техніці та технологіях : наук.-техн. журн. . - 2003. - N 6. - С. 88-91. - Бібліогр. наприкінці ст. - ISSN 5-7763-91.
(Шифр в БД В927452/2003/6)
Анотація:
Рассматривается математическая модель формообразования плоских поверхностей деталей при обработке их на вибрационных доводочных станках с круговыми траекториями колебаний притиров. На ее базе разработана конструкция инструмента для плоскопараллельной обработки полупроводниковых кремниевых пластин.
Розглядається математична модель формоутворення плоских поверхонь деталей при обробці їх на вібраційних доводочних верстатах з круговими траєкторіями коливань прітіров. На її базі розроблена конструкція інструменту для плоскопараллельной обробки напівпровідникових кремнієвих пластин.
Додаткові точки доступу:
Сорочак, О. З.
(Шифр в БД В927452/2003/6)
УДК | |
621.923.6 |
Анотація:
Рассматривается математическая модель формообразования плоских поверхностей деталей при обработке их на вибрационных доводочных станках с круговыми траекториями колебаний притиров. На ее базе разработана конструкция инструмента для плоскопараллельной обработки полупроводниковых кремниевых пластин.
Розглядається математична модель формоутворення плоских поверхонь деталей при обробці їх на вібраційних доводочних верстатах з круговими траєкторіями коливань прітіров. На її базі розроблена конструкція інструменту для плоскопараллельной обробки напівпровідникових кремнієвих пластин.
Додаткові точки доступу:
Сорочак, О. З.
Кількість примірників на окремих абонементах
# | Відділ | Всього примірників | Вільних примірників |
---|
Інвентарні номери примірників на окремих абонементах
# | Відділ | інвентарні номери |
---|
# | Факультет | Спеціальність | Дисципліна | Семестр |
---|
# | Посилання | Кількість завантажень / переходів |
---|