Володарський, Є.
Метрологія та прилади : наук.-вироб. журн. - 2012. - № 6. - С. 34-38. - Бібліогр. наприкінці ст..
(Шифр в БД -166976/2012/6)
Ключові слова: основний матеріал -- основной материал -- калібрування -- калибровка -- крокова структура -- шаговая структура -- рельєфна міра -- рельефная мера --
Анотація:
Проаналізовано методи й засоди калібрування растрових електронних мікроскопів (РЕМ) з метою встановлення оптимальних значень їхніх основних характеристик з погляду впливу останніх на невизначеність результатів вимірювань. Показано, що для досягнення необхідної точності калібрування під час вибору режиму роботи мікроскопа необхідно враховувати вплив рівня напруги прискорення на роздільну здатність РЕМ з одного боку, і на правильність результатів з іншого, що є компромісним завданям.
Проанализированы методы и засоды калибровки растровых электронных микроскопов (РЭМ) с целью установления оптимальных значений их основных характеристик с точки зрения влияния последних на неопределенность результатов измерений. Показано, что для достижения требуемой точности калибровки при выборе режима работы микроскопа необходимо учитывать влияние уровня напряжения ускорения на разрешение РЭС с одной стороны, и правильность результатов с другой, что является компромиссным задач.
Додаткові точки доступу:
Кошева, Л.
Шантир, А.
(Шифр в БД -166976/2012/6)
| УДК | |
| 53.089.6:621.385.833.28 | |
| 53.089.6 | |
| 621.385.833.28 |
Ключові слова: основний матеріал -- основной материал -- калібрування -- калибровка -- крокова структура -- шаговая структура -- рельєфна міра -- рельефная мера --
Анотація:
Проаналізовано методи й засоди калібрування растрових електронних мікроскопів (РЕМ) з метою встановлення оптимальних значень їхніх основних характеристик з погляду впливу останніх на невизначеність результатів вимірювань. Показано, що для досягнення необхідної точності калібрування під час вибору режиму роботи мікроскопа необхідно враховувати вплив рівня напруги прискорення на роздільну здатність РЕМ з одного боку, і на правильність результатів з іншого, що є компромісним завданям.
Проанализированы методы и засоды калибровки растровых электронных микроскопов (РЭМ) с целью установления оптимальных значений их основных характеристик с точки зрения влияния последних на неопределенность результатов измерений. Показано, что для достижения требуемой точности калибровки при выборе режима работы микроскопа необходимо учитывать влияние уровня напряжения ускорения на разрешение РЭС с одной стороны, и правильность результатов с другой, что является компромиссным задач.
Додаткові точки доступу:
Кошева, Л.
Шантир, А.
Кількість примірників на окремих абонементах
| # | Відділ | Всього примірників | Вільних примірників |
|---|
Інвентарні номери примірників на окремих абонементах
| # | Відділ | інвентарні номери |
|---|
| # | Факультет | Спеціальність | Дисципліна | Семестр |
|---|
| # | Посилання | Кількість завантажень / переходів |
|---|