621.382(075)
П 36
.
Технология полупроводниковых приборов [Текст] : учеб. пособие для студ. вузов / И. Г. Пичурин, Ю. М. Таиров. - М. : Высш. шк., . - 288 с. : ил.

УДК
621.382(075)

Ключові слова: обработка -- механическая -- химическая -- электрохимическая -- процессы -- фотохимические -- эпитаксиальные -- диффузия -- ионное легирование -- омические контакты -- контактные системы -- стабилизация -- защита поверхности --
Додаткові точки доступу: