Технология полупроводниковых приборов [Текст] : учеб. пособие для студ. вузов / И. Г. Пичурин, Ю. М. Таиров. - М. : Высш. шк., 1984. - 288 с. : ил.
УДК
621.382(075)
Ключові слова: обработка -- механическая -- химическая -- электрохимическая -- процессы -- фотохимические -- эпитаксиальные -- диффузия -- ионное легирование -- омические контакты -- контактные системы -- стабилизация -- защита поверхности -- Додаткові точки доступу: Таиров, Юрий Михайлович
Кількість примірників на окремих абонементах
#
Відділ
Всього примірників
Вільних примірників
1
Абонемент б. п. №1 (пр. Героїв Харкова, 45)
1
1
Інвентарні номери примірників на окремих абонементах