621.382
В 15
 .
Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике [Текст] / К. А. Валиев, А. В. Раков. - М. : Радио и связь, . - 352 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 338-347 (224 назв.). - 2.80 грн.

УДК
621.382

Ключові слова: фізичні основи -- субмікронна літографія -- мікроелектроніка -- магнитное поле -- магнітне поле -- аберрация -- аберація -- оптическая колонна -- оптична колона -- плазменные колебания -- плазмові коливання -- ядерное торможение -- ядерне гальмування -- синхронное излучение -- синхронне випромінювання -- спектрометри -- рентгеношаблон -- рентгенорезисты -- рентгенорезісти --
Додаткові точки доступу: