533.9
К 76
.
Сюрпризы плазмы [Текст] / Д. И. Котельников. - Киев : Техника, . - 158 с. - ISBN 5-335-00366-9 : 1.40 грн.

УДК
533.9

Ключові слова: имплантация -- катодное распыление -- ионное осаждение -- металл -- лазоры на тлеющем разряде -- электронный луч -- энергия плазмы --