620.3(075.8)
В 47
Вимірювання у нанотехнологіях: методи і засоби [Текст] : навч. посібник / П. Р. Гамула [та ін.] ; за ред. Б. І. Стадника. - Львів : Львів. політехніка, . - 188 с. : iл. - Бібліогр.: с. 178-186. - ISBN 978-617-607-997-2

УДК
620.3(075.8)
006.91(075.8)

Ключові слова: нанометрія -- оптичні сенсори -- мікроскопія -- кантилевери -- засоби вимірювань -- лінійні розміри -- нанометрия -- оптические сенсоры -- микроскопия -- способы измерений -- линейные размеры --
Додаткові точки доступу: