OPAC ДБТУ

621.3.049.77(075.8)
Х 68
Ховерко, Юрій Миколайович.

Технологія елементів зінтегрованих схем мікро- та наносистемної техніки [Текст] : навч. посібник / Ю. М. Ховерко, І. П. Островський, А. О. Дружинін ; Нац. ун-т "Львів. політехніка". - Львів : Вид-во "Львів. політехніка", 2018. - 172 с. : граф., рис., табл. - Бібліогр.: с. 164-169 (71 назва). - ISBN 978-966-941-219-5

	УДК
	621.3.049.77(075.8)

Ключові слова: зінтегровані схеми -- интегрированные схемы -- дифузія фіка -- диффузия фика -- процеси епітаксії -- процессы эпитаксии -- іонна імплантація -- ионная имплантация -- процеси окиснення -- процессы окисления --
Додаткові точки доступу:
Островський, Ігор Петрович
Дружинін, Анатолій Олександрович
Нац. ун-т "Львів. політехніка"

Кількість примірників на окремих абонементах

#	Відділ	Всього примірників	Вільних примірників
1	Абонемент б. п. №4 (вул. Різдвяна, 19)	1	1

Інвентарні номери примірників на окремих абонементах

#	Відділ	інвентарні номери
1	Абонемент б. п. №4 (вул. Різдвяна, 19)	364448

#	Факультет	Спеціальність	Дисципліна	Семестр
1	31	Комп'ютерна інженерія (123)	Комп`ютерна схемотехніка	2
2	31	Електроенергетика, електротехніка та електромеханіка (141)	Електроніка і мікросхемотехніка	5
3	31	Комп'ютерна інженерія (123)	Комп`ютерна схемотехніка	6
4	31	Електроенергетика, електротехніка та електромеханіка (141)	Промислова електроніка і перетворювальна техніка	6
5	31	Електроенергетика, електротехніка та електромеханіка (141)	Електроніка і мікросхемотехніка	6
6	31	Автоматизація,комп'ютерно-інтегровані технології та робототехніка (151)	Електроніка і мікросхемотехніка	6
7	31	Електроенергетика, електротехніка та електромеханіка (141)	Електроніка і мікросхемотехніка	6
8	31	Автоматизація,комп'ютерно-інтегровані технології та робототехніка (151)	Електроніка і мікросхемотехніка	6
9	31	Біомедична інженерія (163)	Електроніка і мікросхемотехніка	6
10	31	Автоматизація,комп'ютерно-інтегровані технології та робототехніка (151)	Електроніка і мікросхемотехніка	6
11	31	Біомедична інженерія (163)	Електроніка і мікросхемотехніка	6
12	31	6.050701	Промислова електроніка	7
13	31	6.050202	Електроніка і мікросхемотехніка	7
14	31	6.100101	Електроніка і мікросхемотехніка	7
15	31	Електроенергетика, електротехніка та електромеханіка (141)	Промислова електроніка і перетворювальна техніка	8
16	31	Електроенергетика, електротехніка та електромеханіка (141)	Промислова електроніка і перетворювальна техніка	8
17	31	Автоматизація,комп'ютерно-інтегровані технології та робототехніка (151)	Промислова електроніка і перетворювальна техніка	8
18	31	Автоматизація,комп'ютерно-інтегровані технології та робототехніка (151)	Промислова електроніка і перетворювальна техніка	8

#	Посилання	Кількість завантажень / переходів