621.382(075)
Б 89
 .
Производство полупроводниковых приборов [Текст] : учебник / В. А. Брук, В. В. Гаршенин, А. И. Курносов. - 2-е изд., пеpеpаб. и доп. - М. : Высш. шк., . - 288 с. : ил. - Библиогр.: с. 285

УДК
621.382(075)

Ключові слова: материалы полупроводниковые -- матеріали напівпровідникові -- полупроводниковые приборы -- напівпровідникові прилади -- контроль качества -- контроль якості -- принцип действия -- принцип дії -- обработка механическая -- обробка механічна -- обработка химическая -- обробка хімічна -- технология изготовления -- технологія виготовлення -- технологические материалы -- технологічні материали --
Додаткові точки доступу: