621.382
В 24
Введение в микроэлектронику [Текст] / под ред. И. П. Степаненко, пер. с англ. В. И. Барышева, пер. с англ. Н. К. Барышевой. - М. : Сов. pадио, . - 320 с. : табл.

УДК
621.382

Ключові слова: полупроводниковые приборы -- напівпровідникові прилади -- физика -- фізика -- тонкопленочные элементы -- тонкоплівкові елементи -- металлические пленки -- металеві плівки -- структура -- структура -- свойства -- властивості -- технология -- технологія -- интегральные схемы -- інтегральні схеми -- надежность -- надійність -- применение -- застосування -- вакуумная физика -- вакуумна фізика -- микроэлектроника -- мікроелектроніка --
Додаткові точки доступу: